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2X-150F型泵：圖1是2X-150F型旋片式真空泵中最大的泵之結構圖。前面舉的小泵均采用雙級串聯(lián)方式。工作時，只高真空級泵承擔全部抽氣作用。當初始抽氣時，高真空級排氣的壓力能夠打開排氣閥片，氣體排出一部分，另一部分由低真空級閥片排出。此時低真空級只相當于輸氣通道。對于大泵來講，低真空級不承擔排氣是種浪費，故2X-150F采用并串聯(lián)結構，在泵的兩級通道之間加一個手動變換閥，使前后兩級可并聯(lián)亦可串聯(lián)進行排氣。
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圖1，a, b是該泵高、低真空級泵腔剖面圖。
圖1 2X-150F結構圖 |
在提高容積利用系數(shù)上，為使旋片在轉子槽中含量不致過少，采用凸凹銜接(見圖2)，這樣，不僅使每個旋片重量減少2公斤，且使泵腔壓力減少，磨損小，提高了轉數(shù)和壽命。 |
圖2 2X-150F旋片結構圖
1.這些面鑄后不加工; 2.導向面 |
整機取消了公共底盤。高真空級定子腔直徑φ280毫米，轉子直徑φ210毫米，定子長420毫米，旋片厚15毫米。低真空級定子直徑φ190毫米，轉子直徑φ145毫米，定子長90毫米，旋片厚12毫米。壓縮比取1:10, K取0.88和0.9，幾何抽速Sn分別為142.56升/秒和14升/秒。極限壓強:串聯(lián)為2.8x10-4托，并聯(lián)為1.2x10-2托。 |
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